1.工廠登記申請書。
2.委託書(委託他人辦理者)。
3.廠地位置圖、建築物配置平面圖及建築物面積計算表。
4.如為都市計畫範圍內之土地，應檢附土地使用分區證明。如為非都市土地應檢附土地登記簿謄本(標示部)。(可由系統查調，免由申請人檢附。)
5.符合用途之使用執照影本或合法房屋證明。
6.工廠負責人身分證影本，工廠負責人如為華僑或外國，應檢附在台居留證明文件。
7.環境保護主管機關出具之證明文件，惟如屬環保法令規定管制之事業種類、範圍及規模者，應依環境影響評估、水污染防治、空氣污染防制、廢棄物清理等類別分別檢附環境保護主管機關出具之各項核准或許可證明文件。
8.自來水公司水費收據影本。
9.屬工廠管理輔導法第十五條第一項第六款規定產品，應檢附該法令主管機關出具之許可文件。
10.規費：郵局匯票抬頭為「桃園市政府」；金額5000元。
11.工廠登記切結書。